-
Personnaliséiert Veraarbechtung vun Al2O3 Keramik Wafer Chuck
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Equipment Keramikplack
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
12-Zoll Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir 300 mm Waferveraarbechtung
De 12-Zoll-Vakuumfutter vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir d'Handhabung vu Waferen vun 300 mm hiergestallt. De Futter huet eng fein gerillte Uewerfläch (Rillbreet 0,5–1,0 mm, Steigung 2–3 mm), fir eng gläichméisseg Vakuumverdeelung iwwer den gesamten Duerchmiesser vun 300 mm ze garantéieren. D'Flaachheet gëtt bannent 5 μm erhalen, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun erméiglecht. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit och bei widderhollte Vakuumzyklen.
-
Keramik Ersatzdeeler fir Hallefleiter-Sondenausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Keramikplack Hallefleiter Ausrüstungsträger
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Ersatzdeeler fir Keramik fir Hallefleiterausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Dichtungsring fir Héichtemperaturkammerdichtung
De Keramik-Dichtungsring vu St.Cera ass als Alternativ zu Polymer-O-Réng an extremen Ëmfeld entwéckelt, wou Elastomere sech ofbauen. Dëse steife Dichtungsring, deen aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, gëtt a statesche Dichtungsapplikatiounen agesat - typescherweis a Kombinatioun mat enger mëller Metall- oder Graphitdichtung - fir eng zouverlässeg Vakuum- oder Gaseinhaltung bei Temperaturen bis zu 800°C an an aggressiven Plasma- oder chemeschen Ëmfeld ze garantéieren. D'Material bitt keng Ausgasung, eng héich Drockfestigkeit (ënnerläit Biegefestigkeit 361 MPa) a chemesch Inertitéit (resistent géint Halogenen, Säuren an Alkalien ausser HF). Präzisiounsgeschliffene Dichtungsflächen (Flaachheet ≤5 μm, Uewerflächenrauheet Ra ≤0,2 μm) garantéieren e leckdichte Kontakt mat de passenden Metall- oder Keramikkomponenten.
-
Fokusring vun der héichreineger Aluminiumoxidkammer fir Plasmaätz- a CVD-Systemer
De Fokusring vum St.Cera-Kammer ass eng wichteg Komponent vum Prozesskit, déi a Plasmaätzungs-, CVD- a PVD-Hallefleederausrüstung benotzt gëtt. De Rank, deen aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, ëmgëtt de Waferrand fir de Plasma anzeschléissen an d'Ionenwénkelverdeelung ze optimiséieren, wouduerch d'Ätzuniformitéit iwwer d'Waferuewerfläch verbessert gëtt. D'Material bitt aussergewéinleche Plasmawiderstand, héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m) an thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C, wat eng laangfristeg Zouverlässegkeet an aggressiven Fluor- oder Chlor-baséierte Plasmaëmfeld garantéiert. Präzisiounsgeschliffene ID/OD a Flaachheet (≤10 μm) erméiglechen eng genee Positionéierung vum Waferrand, wat Kantdefekter a Partikelgeneratioun reduzéiert.
-
Héichreine Aluminiumoxid Keramikring fir CVD / PVD Prozesskammeren
De Keramikrank vu St.Cera ass speziell fir de Gebrauch a CVD (Chemical Vapor Deposition) a PVD (Physical Vapor Deposition) Prozesskammeren entwéckelt. Dëse Rank, deen aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, déngt als Kammerausschluss, Fokusrank oder Prozesskitkomponent fir de Plasma ofzesécheren an d'Kammerkabänner virun Erosioun ze schützen. D'Material bitt exzellente Plasmawiderstand, héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m) an thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C, wat eng laang Liewensdauer an aggressiven fluorbaséierte Plasmaëmfeld garantéiert. Präzis Dimensiounstoleranzen (±0,05 mm op der bannenzeger/bannenzeger Temperatur) a Flaachheet (≤10 μm) erméiglechen eng konsequent Waferkantpositionéierung, verbessert d'Oflagerungsuniformitéit an reduzéiert d'Partikelgeneratioun.
-
Porös Keramik Vakuumfutter fir Verzerrte Waferbehandlung
De poröse Keramikfutter vu St.Cera ass aus héichreinegem Aluminiumoxid mat enger gläichméisseger oppener Porositéit vun 30–45% a Poregréissten tëscht 10 an 100 μm hiergestallt. Am Géigesaz zu konventionelle gerillte Futteren suergt déi poréis Uewerfläch fir e verdeelte Vakuum iwwer déi ganz Récksäit vum Wafer, wouduerch kromm, dënn oder eenzel Wafer effektiv ouni Randofhiewen oder Broch festgehale ginn. De sanfte Vakuum (justierbar iwwer e Restriktiounsmechanismus) verhënnert och Markéierungen op der Récksäit.
-
Porös Keramik-Vakuumfutter op Aluminiumbasis fir d'Handhabung vun dënnen Waferen
De poröse Spannfutter op Aluminiumoxidbasis vu St.Cera gëtt aus 99,6% héichreinegem Al₂O₃ mat enger kontrolléierter oppener Porositéit vun 30–45% an enger gläichméisseger Poregréisst vun 10 bis 50 μm hiergestallt. Am Géigesaz zu gerillte Spannfuttern suergt déi poréis Uewerfläch fir e verdeelt Vakuum iwwer déi ganz Récksäit vum Wafer, wouduerch d'Kantemarkéierung eliminéiert gëtt an ultradënn (≤100 μm) oder verzerrte Wafere sanft festgehale kënne ginn. D'Material bitt eng Biegefestigkeit vun ≥250 MPa an eng thermesch Stabilitéit bis zu 400°C an der Loft.
-
Aluminiumoxid-Gasverdeelerplack fir CVD/PVD-Duschkapp
D'Gasverdeelerplack (Duschkapp) vu St.Cera ass präzis aus héichreinem 99,8% Aluminiumoxid-Keramik verschafft. Si huet eng Rei vu Mikrolächer (Duerchmiesser 0,3–1,5 mm), déi e gläichméissege Gasfloss iwwer d'Waferuewerfläch während CVD-, PVD- oder ALD-Prozesser garantéieren. Déi héich dielektresch Stäerkt vun der Plack (>15×10⁶ V/m) an de Plasmawiderstand maachen se essentiell fir d'Dënnschichtoflagerung a Hallefleeder.
