-
Aluminiumoxid PVD Isolatiounsring fir physikalesch Dampfdepositiounssystemer
De PVD-Isolatiounsrank vu St.Cera gëtt aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir de Gebrauch a physikalesche Gasoflagerungssystemer (PVD) hiergestallt. De Rank bitt elektresch Isolatioun tëscht de Kammerkomponenten, verhënnert Béibildung a garantéiert e stabile Plasmabetrieb. Schlësseleegeschafte sinn eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m), e spezifesche Widderstand >10¹⁴ Ω·mm²/m an eng thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C. Eis Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten erreechen äusseren Duerchmiesser bis zu 600 mm, bannenzegen Duerchmiesser bis zu 0,2 mm, eng Flaachheet vun 0,003 mm an eng Uewerflächenfinish Ra0,1. Déi null Porositéit an déi chemesch Inertitéit vum Rank garantéieren eng laangfristeg Zouverlässegkeet an aggressiven Sputterungsumgebungen.
-
Aluminiumoxid Keramik Deeler fir E-Gun Verdampfungssystemer
St.Cera produzéiert héichreine Keramikkomponenten aus 99,8% Aluminiumoxid, déi speziell fir Elektronestrahl-Verdampfungssystemer (E-Gun) entwéckelt goufen. Dës Deeler enthalen Tichel-Auskleidungen, Stralenablenker, Isolatoren a Montagearmaturen. D'Material bitt eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m), thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C an exzellent Resistenz géint Wärmeschock a chemeschen Attacken duerch verdampft Materialien. Eis Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten erreechen komplex Geometrien mat enger minimaler Featuregréisst vun 0,2 mm, enger Flaachheet vun 0,003 mm an enger Uewerflächenfinish vun Ra0,1. All Deel gëtt 100% CMM op Dimensiounsgenauegkeet iwwerpréift.
-
ST.CERA personaliséiert 99,5% Aluminiumoxid Keramikdeeler
Keramikstrukturdeeler sinn en allgemenge Begrëff fir verschidde komplizéiert Forme vu Keramikdeeler. Si gi mat héichreinegem Keramikpulver hiergestallt, duerch Dréchepressen oder Kalt-isostatescht Pressen, gesintert ënner héijer Temperatur an duerno präzis veraarbecht. Si gi wäit verbreet an der Hallefleiterausrüstung, optescher Kommunikatioun, Laser, medizinescher Ausrüstung, Pëtrol, Metallurgie an Elektronikindustrie benotzt, mat Eegeschafte wéi héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun.
-
ST.CERA personaliséiert 99,5% Aluminiumoxid Keramik Ladearm
E Keramik-Endeffektor / Handling Arm ass op engem Wafer-Handling-Roboter oder "Endeffektoren" installéiert a gëtt benotzt fir Siliziumwafer an oder aus Kassetten oder Prozesskammeren ze transportéieren.
D'Virdeeler vun der Verwendung vu Keramik sinn d'Reduktioun vun der Ofbiegung wéinst héijer Biegefestigkeit, d'Resistenz géint héich Temperaturen an d'Eliminatioun vu Metallkontaminatioun a Partikelen. -
ST.CERA personaliséiert 99,5% Aluminiumoxid Keramikkomponenten
Si gi mat héichreinegem Keramikpulver hiergestallt, ginn d'Keramikkomponenten duerch Dréchepressen oder Kaltisostatpressen geformt, ënner héijer Temperatur gesintert an duerno präzis veraarbecht. Et gëtt wäit verbreet an Hallefleiterausrüstung, optescher Kommunikatioun, Laser, medizinescher Ausrüstung, Pëtrol, Metallurgie an Elektronikindustrie mat senge Charakteristiken wéi héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun.
-
Präzisiounskeramik Aluminiumoxidkeramik Wafer Handling Arm Hallefleiterkeramik
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Isoléiert Aluminiumoxid Keramik Arm Hallefleiter Ausrüstungskomponenten
Verhënnert d'Bildung vu Partikelen, déi sech vun de Schrägkanten oder gebéiten Kanten an der Récksäit entstinn, während d'Waferen transportéiert ginn oder a Kontakt mam Endeffektor/Handling Arm sinn.
Fir d'Guiden gouf e mëllt Material benotzt, dat de Wafer net beschiedegt.
Verdënnung ass méiglech mat der agebauter Vakuumkanaltechnologie vun ST.CERA, déi keng Klebstoffer benotzt.
Et ass méiglech, Lächer fir d'Montage ze maachen an d'Längt a Breet vun der Basis z'änneren, wou den Endeffektor / Handling Arm um Roboter montéiert ass.
D'Montage vu Sensoren, Schrauwen a Klammeren ass optional verfügbar.
Entworf fir an der Atmosphär benotzt ze ginn
-
Héich Temperaturbeständegkeet vu Präzisiounskeramik Aluminiumoxidkeramik
Dëst Keramikrouer, dat aus héichreinegem Keramikpulver gemaach ass, gëtt duerch Dréchepressen oder Kaltisostatpressen geformt, ënner héijer Temperatur gesintert an duerno präzis veraarbecht. Mat ville Virdeeler wéi Abrasiounsbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, héijer Häert, héijer Zähegkeet an engem niddrege Reibungskoeffizient gëtt et wäit verbreet a medizinescher Ausrüstung, Präzisiounsmaschinnen, Laser-, Metrologie- an Inspektiounsausrüstung agesat. Et kann ënner Säure- an Alkalibedingungen fir eng laang Zäit funktionéieren, an déi maximal Temperatur kann bis zu 1600 ℃ erreechen.
-
Héichdrock- a verschleißbeständeg Aluminiumoxid Keramikstang Keramikplunger
D'Keramikstang, déi aus héichreinegem Keramikpulver gemaach gëtt, gëtt duerch Dréchepressen oder Kaltisostatpressen geformt, ënner héijer Temperatur gesintert an duerno präzis veraarbecht. Mat ville Virdeeler wéi Abrasiounsbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, héijer Häert, héijer Zähegkeet an engem niddrege Reibungskoeffizient gëtt se wäit verbreet a medizinescher Ausrüstung, Präzisiounsmaschinnen, Laser-, Metrologie- an Inspektiounsausrüstung benotzt. Si kann ënner Säure- an Alkalibedingungen fir eng laang Zäit funktionéieren, an déi maximal Temperatur kann bis zu 1600 ℃ erreechen.
-
Alumina Keramik Wellehülle Keramik Kolben
Dës Keramikstang, déi aus héichreinegem Keramikpulver gemaach gëtt, gëtt duerch dréchent Pressen oder kal isostatescht Pressen geformt, ënner héijer Temperatur gesintert an dann präzis veraarbecht. Mat ville Virdeeler wéi Abrasiounsbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, héijer Häert, héijer Zähegkeet an engem niddrege Reibungskoeffizient, gëtt se wäit verbreet a medizinescher Ausrüstung, Präzisiounsmaschinnen, Laser-, Metrologie- an Inspektiounsausrüstung benotzt. Si kann laang ënner Säure- an Alkalibedingungen funktionéieren, an déi maximal Temperatur kann bis zu 1600 ℃ erreechen. Déi Keramikmaterialien, déi mir normalerweis benotzen, sinn Zirkoniumdioxid, 95% ~ 99,9% Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN) a sou weider.
-
Excellent Leeschtung vun Aluminiumoxid Keramik mechanesch Strukturdeeler
Keramikstrukturdeeler sinn en allgemenge Begrëff fir verschidde komplizéiert Forme vu Keramikdeeler. Si gi mat héichreinegem Keramikpulver hiergestallt, duerch dréchent Pressen oder kal isostatescht Pressen, ënner héijer Temperatur gesintert an duerno präzis veraarbecht. Si gi wäit verbreet an der Hallefleiterausrüstung, optescher Kommunikatioun, Laser, medizinescher Ausrüstung, Pëtrol, Metallurgie an Elektronikindustrie benotzt.
-
Aluminiumoxid Keramik Strukturkomponenten Strukturdeeler
Keramikstrukturdeeler sinn en allgemenge Begrëff fir verschidde komplizéiert Forme vu Keramikdeeler. Si gi mat Hëllef vun Dréchepressen oder kaler isostatescher Pressung geformt, ënner héijer Temperatur gesintert an duerno präzis veraarbecht.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 400 ℃~800 ℃.
