-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Endeffektor fir Wafer-Handhabungsroboter
Den Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt präzis aus 99,8% héichreinem Al₂O₃ mat fortgeschrattener 5-Achs CNC-Schleifanlage verschafft. Eis Produktiounskapazitéite enthalen Präzisiounsschleifmaschinnen a CNC-Bearbeitungszentren, wat komplex Geometrien mat héijer Präzisioun erméiglecht. Den Endeffektor huet e schmuele Profil (sou dënn wéi 1,5 mm) mat enger konischer Virkant fir eng glat Wafer-Asetzen. D'Material bitt eng héich Steifheet (Young's Modul 380 GPa), exzellent Verschleißbeständegkeet an thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. All Eenheet gëtt präzis geschliffen, fir eng Flaachheet vun 0,003 mm, e Parallelismus vun 0,002 mm an eng Uewerflächenfinish vun Ra0,1 z'erreechen, wat e konsequente Waferkontakt a partikelfräie Betrib an Halbleiter-FAB-Ëmfeld garantéiert. Verfügbar a Längen vun 150 mm bis 450 mm, mat personaliséierte Spëtzegeometrien (Kantegrëff, Bernoulli, flaach) a Montageflanschen, déi op OEM-Roboter passen. D'Uewerflächenoptioune sinn ënner anerem iwwerlappt, poléiert oder ESD-dissipativ Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA personaliséierten Alumina Keramik Bernoulli Endeffektor
Als féierende Produzent vu Keramik-Endeffektoren / Handling Arms hu mir en onkonventionellen Endeffektor / Handling Arm entwéckelt, deen op d'Bedierfnesser vun dësem Maart reagéiert. De Bernoulli-Prinzip-baséierte Keramik-Endeffektor / Handling Arm, deen de Wafer iwwer Loftstroum mat minimalem periphere Kontakt levitéiere kann an transportéiere kann.
-
ST.CERA personaliséierten ESD Keramik Enneffektor
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
-
ST.CERA personaliséiert Alumina Keramik Grëffend Effektor
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
-
ST.CERA personaliséiert Aluminiumoxid Keramik Tablett Enn Effektor
Dëst ass en Endeffektor / Handling Arm vum Keramik-Typ, deen ënner Vakuum benotzt gëtt.
De Keramik-Endeffektor / Handling Arm ass "méi hëtzebeständeg", "manner oflenkend" a "méi liicht" am Gewiicht am Verglach mat de Metall.
-
ST.CERA personaliséierten Alumina Keramik Vakuum Enn Effektor
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
-
ST.CERA personaliséierten Aluminiumoxid Keramik Endeffektor
ST.CERA bitt ESD-Beschichtung an ESD-Keramikmaterial Endeffektor. Hiergestallt aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann en eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃ erreechen.
-
ST.CERA personaliséierten Aluminiumoxid Keramik Vakuum Enn Effektor
Dëst ass en Endeffektor / Handling Arm vum Keramik-Typ, deen ënner Vakuum benotzt gëtt.
De Keramik-Endeffektor / Handling Arm ass "méi hëtzebeständeg", "manner oflenkend" a "méi liicht" am Gewiicht am Verglach mat de Metall.
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Aluminiumoxid Keramik End Effektor Wafer Handling
ST.CERA bitt ESD-Beschichtung an ESD-Keramikmaterial Endeffektor / Handling Arm mat engem agebauten huel Kanal un. Mir spezialiséieren eis op eng Technik, déi e Vakuum-Loftkanal an engem eenzege Stéck Material ouni d'Benotzung vu Klebstoff bildt.
Et gëtt kee Risiko vu Kontaminatioun, Ausgasung oder Partikelen. Den Vakuum-Endeffektor / Handling Arm vun ST.CERA mat spezieller Beschichtungstechnologie ass elektresch isoléiert. Mir kënnen och ESD-Keramikmaterial ubidden, dat elektresch isoléiert ass ouni Beschichtung.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃. -
Komponenten vun der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Hallefleiter-Ausrüstung
Verhënnert d'Entwécklung vu Partikelen, déi sech vun de Schrägkanten oder gebéiten Kanten an der Récksäit entstinn, während d'Waferen transportéiert ginn oder a Kontakt mam Endeffektor/Handling Arm sinn.
Fir d'Guiden gouf e mëllt Material benotzt, dat de Wafer net beschiedegt.
Verdënnung ass méiglech mat der agebauter Vakuumkanaltechnologie vun ST.CERA, déi keng Klebstoffer benotzt.
Et ass méiglech, Lächer fir d'Montage ze maachen an d'Längt a Breet vun der Basis z'änneren, wou den Endeffektor / Handling Arm um Roboter montéiert ass.
D'Montage vu Sensoren, Schrauwen a Klammeren ass optional verfügbar.
Entworf fir an der Atmosphär ze benotzen.
-
Personnaliséiert CNC-Bearbeitung vu St.Cera Keramik-Endeffektor
ST.CERA bitt en Vakuum-Keramik-Endeffektor / Handling Arm mat engem agebauten huel Kanal un. Mir spezialiséieren eis op eng Technik, déi e Vakuum-Loftkanal an engem eenzege Stéck Material ouni d'Benotzung vu Klebstoff bildt.
Et gëtt kee Risiko vu Kontaminatioun, Ausgasung oder Partikelen. D'Vakuum-Endeffektoren / Handling Arms vun ST.CERA mat agebautem Kanal si robust a kënne bei héijen Temperaturen agesat ginn. Ausserdeem kënnen eis Produktiounskäschte reduzéiert ginn, andeems onnéideg Montage eliminéiert gëtt.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Aluminiumoxid Antistatik Keramik Endeffektor
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
