Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Endeffektor fir Wafer-Handhabungsroboter

Den Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt präzis aus 99,8% héichreinem Al₂O₃ mat fortgeschrattener 5-Achs CNC-Schleifanlage verschafft. Eis Produktiounskapazitéite enthalen Präzisiounsschleifmaschinnen a CNC-Bearbeitungszentren, wat komplex Geometrien mat héijer Präzisioun erméiglecht. Den Endeffektor huet e schmuele Profil (sou dënn wéi 1,5 mm) mat enger konischer Virkant fir eng glat Wafer-Asetzen. D'Material bitt eng héich Steifheet (Young's Modul 380 GPa), exzellent Verschleißbeständegkeet an thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. All Eenheet gëtt präzis geschliffen, fir eng Flaachheet vun 0,003 mm, e Parallelismus vun 0,002 mm an eng Uewerflächenfinish vun Ra0,1 z'erreechen, wat e konsequente Waferkontakt a partikelfräie Betrib an Halbleiter-FAB-Ëmfeld garantéiert. Verfügbar a Längen vun 150 mm bis 450 mm, mat personaliséierte Spëtzegeometrien (Kantegrëff, Bernoulli, flaach) a Montageflanschen, déi op OEM-Roboter passen. D'Uewerflächenoptioune sinn ënner anerem iwwerlappt, poléiert oder ESD-dissipativ Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Spezifikatiounen (baséiert op 99,8% Al₂O₃& St.Cera Produktiounskapazitéiten):

Uwendungen:

• · Wafertransfer a Vakuum- a Atmosphärroboter
• · FAB Automatiséierungs-Endeffektoren fir 200mm/300mm Waferen
• · Handhabung vun dënne Waferen (mat ESD-Optioun)

Produktiounskapazitéiten:
Eis Präzisiounsschleifmaschinnen an CNC-Bearbeitungszentren erméiglechen d'Produktioun vu komplexe Keramikkomponenten mat:

• · Maximal Bearbechtungslängt: 1500 mm
• · Maximalen äusseren Duerchmiesser: 600 mm
• · Mindestens bannenzegen Duerchmiesser: 0,2 mm
• · Maximal Déckt: 100 mm

Qualitéitskontroll:
Geriichtheet 0,005 mm, Senkrechtheet 0,005 mm, Ronnheet 0,002 mm, Parallelitéit 0,002 mm, Konzentrizitéit 0,01 mm gouf vum CMM verifizéiert. All Eenheet gëtt mat Ultraschall gereinegt a Klass 100 fir propper Raim verpackt.