Teflon-beschichtete Keramik-Endeffektor – Antihaft-Uewerfläch fir empfindlech Waferbehandlung
Den Teflon (PTFE) beschichteten Keramik-Endeffektor vun St.Cera kombinéiert en héichfestegt Aluminiumoxid-Substrat mat enger eenheetlecher, reibungsarmer PTFE-Beschichtung (Dicke 15–30 μm). D'Beschichtung bitt e ganz niddrege Reibungskoeffizient (≤0,1), exzellent chemesch Resistenz an Antihaft-Eegeschaften, wat d'Adhäsioun vu Waferen verhënnert an d'Kontaminatioun op der Récksäit eliminéiert. Dat ënnerläit Keramik-Substrat (99,8% Al₂O₃) bitt eng héich Biegefestigkeit (361–1000 MPa), Verschleißfestigkeit an thermesch Stabilitéit bis zu 260°C (Beschichtungslimit). Dësen Endeffektor ass ideal fir d'Handhabung vu empfindlechen, dënnen oder plakege Waferen (z.B. no enger Photoresistbeschichtung oder chemesche Prozesser).
Spezifikatiounen (baséiert op 99,8% Al₂O₃-Substrat mat PTFE-Beschichtung):
| Immobilie | Wäert |
| Substratmaterial | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Beschichtungsmaterial | PTFE (Teflon) |
| Beschichtungsdicke | 15–30 μm |
| Reibungskoeffizient (beschichtet) | ≤0,1 |
| Biegfestigkeit vum Substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substrathärte (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substratdicht | 3,93 g/cm³ |
| Maximal Betribstemperatur (Beschichtungslimit) | 260°C |
| Uewerflächenrauheet (virun der Beschichtung) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektresch Stäerkt (Substrat) | 15×10⁶ V/m |
Bemierkung: PTFE-Beschichtung limitéiert d'Maximaltemperatur op 260 °C; fir Uwendungen bei méi héijen Temperaturen, sollt onbeschichtete Keramik oder aner Beschichtungen a Betruecht gezunn ginn.
Uwendungen:
- · Ëmgang mat Waferen no der Photoresistbeschichtung (klebrig Uewerflächen)
- · Transfer vun dënnen oder fragilen Waferen (verhënnert Haftung)
- · Instrumenter fir d'Inspektioun an d'Metrologie vun der Hallefleiterindustrie
- · Automatiséierung vu proppere Raim, wou d'Partikelkontaminatioun miniméiert muss ginn
Fabrikatiounsprozess:
Keramiksubstrat gesintert a präzis geschliffen → Uewerflächenrauhmaachen (Plasmaätzung oder Gritstrahlen) → PTFE-Sprëtzbeschichtung → Hëtzthärtung bei 380°C → Schlussinspektioun. All Endeffektor gëtt op Beschichtungsdicke (Wirbelstroum), Adhäsioun (Kräizschnëttstest ASTM D3359) a Reibungskoeffizient iwwerpréift.
Qualitéitskontroll:
100% visuell Inspektioun op Lächer oder Blasen; Uniformitéit vun der Beschichtungsdicke bannent ±5 μm; keng Delaminatioun nom 90°-Biegetest um Zeugscoupon. Dimensiounskontroll op OEM-Toleranz (Längt ±0,05 mm, Flaachheet ≤0,1 mm).
Virdeeler géintiwwer onbeschichteten oder anere Beschichtungen:
- · Antihaft-Uewerfläch verhënnert d'Adhäsioun a Broch vun de Waferen
- · Niddregsten Reibungskoeffizient ënner Keramikbeschichtungen
- · Excellent chemesch Resistenz (Säuren, Basen, Léisungsmëttel)
- · Reduzéiert d'Partikelbildung andeems de Materialtransfer verhënnert gëtt
Aschränkungen (Bemierkungen zur Materialofwäichung):
D'PTFE-Beschichtung gëtt net vun den uginnene Materialeigenschaftstabellen ofgeleet (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). D'Substrateigenschaften entspriechen dem uginnene Datenblat strikt (99,8% Al₂O₃). D'Beschichtungseigenschaften baséieren op PTFE-Spezifikatioune vum Industriestandard, well keng Beschichtungsdaten uginn goufen. Fir Uwendungen iwwer 260°C gëtt en onbeschichteten Keramik-Endeffektor recommandéiert.*
Personnalisatioun:
Verfügbar a Längen vun 150–1500 mm, Spëtzformen (Kantegrëff, Bernoulli, flaach), Montageflanschmuster no OEM-Zeechnung. Partiell Beschichtung (nëmme Kontaktflächen) oder voll Ofdeckung optional.
Frot eng Prouf fir Adhäsiouns- a Reibungstest un.
