Metallgestützte poröse SiC-Vakuumfutter fir d'Handhabung vu verzerrte a dënne Waferen
De Metallbaséierte Keramik-Vakuumfutter vu St.Cera kombinéiert eng poréis Siliziumkarbid (SiC) Keramikschicht mat enger präzisiounsbearbechter Metallbasis (Aluminium oder Edelstol). Dat poréist SiC-Material (blo-schwaarz, Porositéit 35–40%, Poregréisst 20–30 μm, Permeabilitéit 60 ml/cm²·min) suergt fir eng gläichméisseg, sanft Vakuumverdeelung iwwer déi ganz Waferuewerfläch, eliminéiert Kantmarkéierungen an erméiglecht eng kontaktlos Ënnerstëtzung fir dënn (≤100 μm) oder verzerrt Waferen. D'SiC-Schicht bitt eng niddreg thermesch Expansioun (3,5×10⁻⁶/℃), thermesch Stabilitéit bis zu 1000°C an eng mëttel Biegefestigkeit (32–35 MPa). D'Metallbasis suergt fir strukturell Steifheet, einfach Montage iwwer Gewënnlächer a Schutz géint sprécheg Broch. Dëse Futter ass ideal fir Récksäitschleifen, Wierfelen an Héichtemperatur-Waferveraarbechtung, wou eng gläichméisseg Vakuum- a thermesch Kompatibilitéit entscheedend sinn.
Spezifikatiounen (baséiert op geliwwerte porösen SiC-Donnéeën):
| Immobilie | Wäert |
| Keramikmaterial | Poréis Siliziumkarbid (SiC ≥80%) |
| Faarf | Blo-Schwaarz |
| Porositéit | 35–40% |
| Porengréisst | 20–30 μm |
| Dicht | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Permeabilitéit | 60 ml/cm²·min |
| Biegfestigkeit | 32–35 MPa |
| Thermeschen Ausdehnungskoeffizient (25-1000°C) | 3,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximal Betribstemperatur | 1000°C |
| Elektresche Widderstand | 10⁻¹⁰ Ω/cm (no geliwwerten Donnéeën, typesch fir poröst SiC) |
| Metallbasismaterial | Aluminium 6061 oder Edelstahl 304 (optional) |
| Déckt vum Metallbasis | 10–30 mm (personaliséiert) |
Bemierkung: D'Biegefestigkeit ass wéinst der Porositéit méi niddreg wéi déi vun dichtem SiC. D'Eegeschafte vun der Metallbasis sinn net vun de Keramikdëscher.
Uwendungen:
- · Récksäiteschleifen vun dënne Waferen (≤100 μm)
- · Verformte Wafermontage fir Wierfelen
- · Héichtemperatur-Wafer-Spannung (bis zu 1000°C)
- · Vakuumfixéierung fir poréis oder fragil Substrater
Produktioun:
Poréis SiC-Plack (mat Porenbilder geformt, gesintert) → iwwerlappt op eng Flaachheet ≤10 μm → Metallbasis mat Vakuumanschlüsse a Montageméiglechkeeten veraarbecht → Epoxyverbindung oder mechanesch Klemmung → Helium-Dichtheetstest.
Qualitéitskontroll:
- · Porositéit a Poregréisst duerch SEM verifizéiert
- · Permeabilitéitstest (Loftstroum)
- · Flaachheet gemooss mat engem Laserinterferometer
- · Helium-Leckagerate <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Virdeeler géintiwwer gerillten oder dichten Keramikfutter:
- · Keng Wafermarkéierung – eenheetlecht Vakuum ouni diskret Lächer
- · Selbstreinigend Poren – reduzéiert Verstoppung
- · Handhabt kromme Waferen (bis zu 500 μm Béi)
- · Metallbasis verhënnert brécheg Broch a vereinfacht d'Integratioun
Aschränkungen:
- · Méi niddreg Biegefestigkeit (32–35 MPa) – Schlagbelaaschtung vermeiden
- · Betribstemperatur limitéiert op 1000°C (porös SiC), awer Epoxybindung op Metallbasis limitéiert sech op ≤200°C, ausser mechanesch festgeklemmt
- · Net fir Héichdrockvakuum (poréis Struktur limitéiert maximal Vakuumdifferenz)
Personnalisatioun:
- · Metallbasis: Aluminium (liicht), Edelstol (korrosiounsbeständeg), Invar (niddreg Expansioun)
- · Verbindung: Epoxy (≤200°C) oder mechanesch Klemmung (bis zu 500°C)
- · Kantdichtring fir Zonenvakuumkontroll
Opgepasst: Déi geliwwert Biegefestigkeit (32–35 MPa) ass wéinst der Porositéit däitlech méi niddreg wéi bei dichter Keramik. Virsiichteg handhaben, fir Kantenofsplitter ze vermeiden.
