Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir Präzisiounswierfelen a Schleifen
De Vakuumfutter vun St.Cera aus Aluminiumoxid gëtt aus 99,8% héichreinem Al₂O₃ mat präzisiounsbearbechte Vakuumrillen hiergestallt. Eis Präzisiounsschleifkapazitéit erreecht eng Flaachheet vun 0,003 mm an e Parallelismus vun 0,002 mm, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun garantéiert. D'Material bitt eng héich Biegefestigkeit (361 MPa), Häert (16 GPa) an thermesch Stabilitéit bis zu 800 °C. Verfügbar a ronne Formater bis zu 600 mm äusseren Duerchmiesser (OD) a rechteckege Formen bis zu 1500 mm Längt. D'Vakuumrillen sinn individuell entworf (konzentresch, radial oder Gittermuster), fir spezifesch Prozessufuerderungen gerecht ze ginn. All Futter gëtt mat engem Laserinterferometer iwwerpréift a mat engem Flaachheetsverifizéierungsrapport geliwwert.
Spezifikatiounen (baséiert op 99,8% Al₂O₃& St.Cera Produktiounskapazitéiten):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Äusseren Duerchmiesser (max) | 600mm |
| Déckt (maximal) | 100mm |
| Längt (max) | 1500mm |
| Flaachheet | 0,003 mm |
| Parallelismus | 0,002 mm |
| Uewerflächenfinish | Ra0.1 |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C |
Uwendungen:
- · Wafer Wierfelen schneiden a rissen (200mm/300mm a méi grouss)
- · Récksäiteschleifen vun dënne Waferen
- · Optesch Inspektioun a Sonding
- · Grouss Substratbehandlung
Produktiounspräzisioun:
- · Geriichtheet: 0,005 mm
- · Senkrecht: 0,005 mm
- · Ronnheet: 0,002 mm
- · Konzentrizitéit: 0,01 mm
