Standard-Vakuumfutter op Aluminiumoxidbasis – Héich Steifheet fir Präzisiounsbearbechtung
Dëse Vakuumfutter op Aluminiumoxidbasis gëtt aus 99,8% Al₂O₃ hiergestallt a bitt eng glat, net-poréis Uewerfläch mat personaliséierte Vakuumnutenmuster. E bitt aussergewéinlech Steifheet (Young's Modul 380 GPa) a Flaachheet (≤3 μm), wat en ideal mécht fir präzis Schleifen, Läppen a Wierfelen vun Hallefleiterwaferen an optesche Komponenten. Déi héich Wärmeleitfäegkeet vum Material (32 W/m·k) garantéiert eng Temperaturuniformitéit während der Veraarbechtung.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,8% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Young säi Modul | 380 GPa |
| Wärmeleitfäegkeet | 32 W/m·k |
| Flaachheet | ≤3 μm (iwwer 200mm) |
| Uewerflächenrauheet (Spannfuttersäit) | Ra ≤0,4 μm |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C |
Uwendungen:
- · Récksäitschleifen vun der Wafer (grov a fein)
- · Präzisiounsschneiden vu spréchege Materialien
- · Iwwerlappung vu Keramiksubstrater
- · Optesch Lënsenpoléierung
Produktioun:
Präzisiounsläppen vun zwou Säiten → Diamantnuten (optional) → Kantenabrunding → Ultraschallreinigung → 100% Flaachheetsinspektioun mat Laserinterferometer.
AVirdeeler:
- · Starr Ënnerstëtzung miniméiert d'Oflenkung ënner Belaaschtung
- · Keng Partikelbildung aus poröser Struktur
- · Einfach ze botzen (kompatibel mat Léisungsmëttel a mat Ofwëscher)
- · Vakuumrillen personaliséierbar (konzentresch, radial, personaliséiert Musteren)
Verfügbar Gréissten:
Ronn: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; véiereckeg/rechteckeg op Ufro.
Mir bidden och Versiounen op Metallbasis fir eng méi héich mechanesch Stäerkt un.
