Porös Keramik-Vakuumfutter op Aluminiumbasis fir d'Handhabung vun dënnen Waferen
De poröse Spannfutter op Aluminiumoxidbasis vu St.Cera gëtt aus 99,6% héichreinegem Al₂O₃ mat enger kontrolléierter oppener Porositéit vun 30–45% an enger gläichméisseger Poregréisst vun 10 bis 50 μm hiergestallt. Am Géigesaz zu gerillte Spannfuttern suergt déi poréis Uewerfläch fir e verdeelt Vakuum iwwer déi ganz Récksäit vum Wafer, wouduerch d'Kantemarkéierung eliminéiert gëtt an ultradënn (≤100 μm) oder verzerrte Wafere sanft festgehale kënne ginn. D'Material bitt eng Biegefestigkeit vun ≥250 MPa an eng thermesch Stabilitéit bis zu 400°C an der Loft.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,6% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,6% Aluminiumoxid (Wäiss) |
| Porositéit | 30–45% (justierbar) |
| Duerchschnëttlech Poregréisst | 10–50 μm |
| Biegfestigkeit | ≥250 MPa |
| Dicht | 3,88 g/cm³ |
| Flaachheet (iwwer 200 mm) | ≤5 μm |
| Maximal Betribstemperatur | 400°C (Loft) |
| Uewerflächenfinish | Gelappt (Ra ≤0,8 μm) |
Uwendungen:
- · Récksäiteschleifen mat Dënnem Wafer (≤50 μm)
- · Verformte Wafermontage fir Wierfelen
- · Eenzelstéckeg Opnam
- · Ëmgang mat Glassubstrat
Produktioun:
Pulver gemëscht mat Porenbilder → isostatescht Pressen → Sinteren bei 1600°C → Iwwerlappen bis zur definitiver Déckt. All Spannfutter gëtt op Vakuumuniformitéit (Drockofwäichung <5%) duerchflusst an op Poregréisstverdeelung (SEM) iwwerpréift.
Virdeeler géintiwwer konventionelle Spannfutter:
- · Keng Markéierung op der Récksäit vum Wafer oder Verrécklung vum Stäipchen
- · Hält Waferen mat engem Bou bis zu 500 μm
- · Selbstreinigend Uewerfläch (Poren verhënneren Verstoppung)
- · Eenheetlech Ënnerstëtzung eliminéiert lokal Belaaschtung
CUpassung:
Ronn oder véiereckeg Formen, Duerchmiesser 100–450 mm. Kantdichtungsring fir zonéiert Vakuumkontroll verfügbar.
Frot eng Prouf fir Är spezifesch Wafergréisst un.
