12-Zoll Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir 300 mm Waferveraarbechtung
De 12-Zoll-Vakuumfutter vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir d'Handhabung vu Waferen vun 300 mm hiergestallt. De Futter huet eng fein gerillte Uewerfläch (Rillbreet 0,5–1,0 mm, Steigung 2–3 mm), fir eng gläichméisseg Vakuumverdeelung iwwer den gesamten Duerchmiesser vun 300 mm ze garantéieren. D'Flaachheet gëtt bannent 5 μm erhalen, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun erméiglecht. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit och bei widderhollte Vakuumzyklen.
Spezifikatiounen (baséiert op 99,8% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Duerchmiesser | 300 mm (12 Zoll) |
| Material | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Flaachheet (iwwer 300 mm) | ≤5 μm |
| Groove Breet | 0,5–1,0 mm |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C |
| Dielektresch Stäerkt | 15×10⁶ V/m |
Uwendungen:
300mm Wafer Wierfelen a Rippen
Wafer-Récksäitschleifen (dënn Wafer-Ënnerstëtzung)
Optesch Inspektioun a Sonding
Temporär Verbindungs-/Entbindingsfutter
Produktioun:
CNC geschliffen a bis zur definitiver Flaachheet geschliffen, mat Diamantscheiwen gerillt, mat Ultraschall gereinegt a verpackt an engem Klass 100 Cleanroom. All Spannfutter gëtt zu 100% op Flaachheet (Laserinterferometer) a Ruttdéift (Profilometer) iwwerpréift.
Virdeeler:
Gering Partikelbildung (≤0,05 Partikelen/cm²)
Chemesch inert géintiwwer Léisungsmëttel a Säuren
ESD-sécher Uewerfläch (Widerstand >10¹³ Ω·cm)
Benotzerdefinéiert Vakuumlächermuster a Réckporten verfügbar.
