Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Dichtungsring fir Héichtemperaturkammerdichtung
De Keramik-Dichtungsring vu St.Cera ass als Alternativ zu Polymer-O-Réng an extremen Ëmfeld entwéckelt, wou Elastomere sech ofbauen. Dëse steife Dichtungsring, deen aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, gëtt a statesche Dichtungsapplikatiounen agesat - typescherweis a Kombinatioun mat enger mëller Metall- oder Graphitdichtung - fir eng zouverlässeg Vakuum- oder Gaseinhaltung bei Temperaturen bis zu 800°C an an aggressiven Plasma- oder chemeschen Ëmfeld ze garantéieren. D'Material bitt keng Ausgasung, eng héich Drockfestigkeit (ënnerläit Biegefestigkeit 361 MPa) a chemesch Inertitéit (resistent géint Halogenen, Säuren an Alkalien ausser HF). Präzisiounsgeschliffene Dichtungsflächen (Flaachheet ≤5 μm, Uewerflächenrauheet Ra ≤0,2 μm) garantéieren e leckdichte Kontakt mat de passenden Metall- oder Keramikkomponenten.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,8% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Waasserabsorptioun | 0% |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Kompressiounsstäerkt (geschätzt) | >2000 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Thermesch Expansioun (25–1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C (Loft), 1600°C (inert) |
| Uewerflächenabschluss (Dichtungsfläche) | Ra ≤0,2 μm (iwwerlappt) |
| Flaachheet (pro 25 mm) | ≤5 μm |
| Helium-Leckagequote | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (mat passender Dichtung) |
Uwendungen:
- · Statesch Dichtungen fir d'Hallefleiterprozesskammer (CVD, PVD, Ätz)
- · Dichtungen fir héich Temperaturen am Uewen
- · Vakuumduerchféierungsflanschen
- · Zoumaache vu chemesche Reaktorbehälter
Fabrikatiounsprozess:
Isostatescht Pressen → Sinteren bei 1600°C → Präzisiouns-Duebelsäiteg Iwwerlappung fir ultraflaach, glat Dichtungsflächen z'erreechen → Kantenofschréiung → Ultraschallreinigung. All Rank gëtt zu 100% op engem Helium-Leckdetektor mat enger Standard-Metalldichtung op Dichtheet getest.
Qualitéitskontroll:
- · CMM Dimensiounskontroll (Innere Duerchmiesser, Ausdehnung Duerchmiesser, Déckt, Parallelitéit)
- · Uewerflächenprofilometer fir Ra a Wellen
- · Flaachheetsmessung mat Hëllef vun optescher Flaachheet
- · Helium-Lecketest (Réckdrockmethod)
Virdeeler géintiwwer Polymer-O-Réng:
- · Widderstand 800 ° C vs <300 ° C fir FFKM
- · Null Ausgasung - keng Kontaminatioun vun der Vakuumëmfeld
- · Resistent géint all Plasmachemien (Fluor, Chlor, Sauerstoff)
- · Keng Kompressioun oder permanent Deformatioun
- · Onlimitéiert Liewensdauer a propperen Ëmfeld
Aschränkungen (kritesch Bemierkungen):
- · Keen O-Ring— et ass e steife Keramikrank, deen eng mëll Dichtung (Koffer, Aluminium oder Graphit) brauch fir ofzedichten.
- · Enthält keng dynamesch Beweegung oder grouss Flanschfehlausriichtung.
- · Méi héich Ufankskäschte wéi Polymer-O-Réng, awer eng méi laang Liewensdauer reduzéiert d'Besëtzkäschten.
- · Brécheg - virsiichteg handhaben; Punktschlag oder Biegespannung vermeiden.
Bemierkung:D'Donnéeën uewen entspriechen strikt der geliwwerter Al₂O₃-Eegeschaftstabell. Et goufen keng Donnéeën fir elastomer Materialien uginn. Dëst Produkt ass e statesche Dichtungsring, keen elastomeren O-Ring. Bestätegt w.e.g., ob dëst Är Ufuerderunge entsprécht.
