ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler fir statesch empfindlech Waferbehandlung
D'ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler vu St.Cera gi mat engem speziellen Uewerflächenwiderstand vun 10⁶–10⁹ Ω/sq hiergestallt, deen duerch e propriétaire Dotier- oder Beschichtungsprozess erreecht gëtt. Dës Deeler leeden effektiv statesch Ladung of a verhënneren elektrostatesch Schied un empfindleche Hallefleederwaferen an -komponenten. De Basismaterial behält seng héich Biegefestigkeit (361 MPa), Häert (16 GPa) a dielektresch Festigkeit (15×10⁶ V/m). ESD-sécher Keramikdeeler enthalen Endeffektoren, Liftstiften, Führungsschinnen a speziell Befestigungen fir d'FAB-Automatiséierung.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,8% Al₂O₃ mat ESD-Behandlung):
| Immobilie | Wäert |
| Basismaterial | 99,8% Aluminiumoxid |
| Uewerflächenwiderstand (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/Quadratmeter |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Young säi Modul | 380 GPa |
| Thermesch Expansioun (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C |
| Dielektresch Stäerkt (Grouss) | 15×10⁶ V/m |
Bemierkung: Den ESD-Uewerflächenwiderstand gëtt net an den Tabellen iwwer Materialeegeschafte uginn. Den uewe genannten Niveau ass den Industriestandard fir dissipativ Keramik. Kontaktéiert eis w.e.g. fir Testberichter.
Uwendungen:
● ESD-sécher Endeffektoren fir Wafertransfer
● Äerdungsstifte an ESD-Armaturen an FAB-Ausrüstung
● Teststeckdosen fir statesch empfindlech Apparater
● Cleanroom-Tools, wou d'Strahkontrolle entscheedend ass
Produktioun & Qualitéit:
Standard Aluminiumoxidveraarbechtung + ESD-Uewerflächenbehandlung → Uewerflächenwiderstand gemooss no ANSI/ESD STM11.11. All Deel gëtt zu 100% mat enger konzentrescher Ringelektrode getest.
Virdeeler:
● Verhënnert ESD-bedingte Rendementsverloscht
● Erhält d'mechanesch Stäerkt a chemesch Resistenz vun der Keramik
● Keng Partikelbildung duerch statesch Entladung
