Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor mat integréierte Vakuumkanäl
Den Aluminiumoxid-Vakuum-Endeffektor vu St.Cera integréiert präzis veraarbechte Vakuumkanäl a Sauglächer direkt an de Kierper aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid. Dësen Design eliminéiert extern Vakuumpads a erméiglecht eng direkt Wafer-Opnahm mat enger gläichméisseger Haltkraaft. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit bei widderhollte Vakuumzyklen. D'Flaachheet iwwer d'Padfläch gëtt bannent 10 μm erhalen, wat Waferstress a Broch verhënnert. Vakuumports sinn um hënneschte Montageflansch fir eng einfach Integratioun mat OEM-Roboteräerm placéiert.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,8% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,8% Aluminiumoxid (Elfebeen) |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Young säi Modul | 380 GPa |
| Thermesch Expansioun | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Flaachheet vum Pad | ≤10 μm |
| Breet vum Vakuumkanal | 0,5–2,0 mm |
| Maximal Betribstemperatur | 800°C |
Uwendungen:
● Vakuumopnahm vun dënnen oder verzerrten Waferen
● Direkt Waferbehandlung ouni Kantengräifen
● Transfer vu Solarzellen an LED-Substrater
Produktioun:
Gesintert Aluminiumoxidblank → 5-Achs CNC-Buerung vu Vakuumkanäl a Lächer → Uewerflächeniwwerlappung → Ultraschallreinigung → Helium-Lecketest. All Effektor gëtt zu 100% op Vakuumuniformitéit duerchstroumt.
Virdeeler:
● Keng extern Vakuumpads (reduzéiert Partikelquellen)
● Eenheetleche Haltdrock verhënnert d'Markéierung vu Waferen
● Chemesch inert a kompatibel mat proppere Raim
