Vakuumfutter op Basis vu Siliziumkarbid (SiC) fir Héichtemperatur- a Plasmaëmfeld
De SiC-baséierte Keramikfutter vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (Charge S1111, SiC 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt. E liwwert eng gemoossen Biegefestigkeit vu 449 MPa, eng Bruchsehegkeet vun 3,12 MPa·m¹/² an en Elastizitéitsmodul vu 457 GPa. Déi typesch Wärmeleitfäegkeet vum Material (120–150 W/m·K) an déi niddreg thermesch Expansioun (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) erméiglechen eng séier Temperaturrampfung a minimal Wafer-Verzerrung während dem thermesche Zyklus. De Futter kann als poréise Vakuumfutter (gläichméissege Gasstroum) oder als gerillte Standardfutter konfiguréiert ginn. Mat enger maximaler Notzungstemperatur vun 1600–1700°C (ouni Belaaschtung) an aussergewéinlecher Plasmaerosiounsbeständegkeet ass dëse Futter ideal fir Héichtemperatur-Waferveraarbechtung (Glühen, RTP) an aggressiv Ätzkammeren, wou Aluminiumoxidfutter ofbauen.
Spezifikatiounen(baséiert op dem geliwwerte SiC S1111 Testbericht & typesche Wäerter):
| Immobilie | Wäert |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% fräit Si) |
| Dicht | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Waasserabsorptioun | 0% |
| Biegfestigkeit | 449 MPa |
| Bruchstähigkeit | 3,12 MPa·m¹/² |
| Elastizitéitsmodul | 457 GPa |
| Vickers-Härkeet | 25–28 GPa |
| Wärmeleitfäegkeet | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximal Benotzungstemperatur (ouni Belaaschtung) | 1600–1700°C |
| Flaachheet (iwwer 300 mm) | ≤5 μm |
| Uewerflächenfinish | Ra ≤0,4 μm (iwwerlappt) |
Uwendungen:
● Héichtemperaturspannen (Glühen, RTP, epitaktesch Wuesstem)
● Plasmaätzfutter mat héijer Fluorbeständegkeet
● Dënn Waferbehandlung mat gläichméisseger Heizung/Ofkillung
● Poréis Spannfutter fir kontaktlos Waferënnerstëtzung
Produktioun:
SiC-Sinteren → Präzisiounsschleifen vun der Flaachheet a vum Uewerflächenprofil → optional Bildung vu porösen Strukturen (fir Vakuumfutter) → Läppen → Ultraschallreinigung. All Futter gëtt zu 100% op Flaachheet (Laserinterferometer) a Vakuumuniformitéit (Flosstest) iwwerpréift.
Qualitéitskontroll:
● CMM Dimensiounskontroll (Duerchmiesser, Déckt, Lächerpositiounen)
● Flaachheetsmessung no ASTM
● Helium-Leckagetest (fir Vakuumfutter)
● Verifizéierung vun der Biegfestigkeit pro Charge (Ref. Testbericht)
Virdeeler géintiwwer Aluminiumoxid-Chucks:
● Méi héich Wärmeleitfäegkeet (120–150 vs. 32 W/m·K fir Aluminiumoxid) – 4x méi séier Wärmeiwwerdroung
● Méi niddreg CTE (4,0 vs 7,2×10⁻⁶/℃) – reduzéiert d'Wafer-Wärmestress
● Iwwerleeën Plasmawiderstand – 10x méi laang Liewensdauer beim Fluorätzen
● Méi héich maximal Notzungstemperatur (1600°C vs. 800°C fir Aluminiumoxid)
Personnalisatioun:
● Poréis oder gerillt Uewerfläch
● Duerchmiesser 100–450 mm, ronn oder véiereckeg
● Kantdichtring oder Zonenvakuumtreppen
● Metallträgeroptioun fir héichsteif Montage
All mechanesch Donnéeën uewen stamen aus dem geliwwerte Testbericht (Charge S1111). Thermesch a Härtheetswäerter si typesch fir dës SiC-Qualitéit. Poréis SiC-Futterfutter erfuerderen zousätzlech Veraarbechtung; frot w.e.g. no der spezifescher Disponibilitéit vu Porositéit a Poregréisst.
