Siliziumkarbid (SiC) Keramik-Endeffektor – Héich Steifheet fir d'Handhabung vu Waferen bei héijen Temperaturen
Den SiC Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (SiC-Gehalt 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt andeems en de S1111 Batchmaterial benotzt. En bitt aussergewéinlech mechanesch Eegeschaften: Biegefestigkeit 449 MPa (gemooss), Elastizitéitsmodul 457 GPa (gemooss) a Vickers-Härte 25–28 GPa (typesch). Déi niddreg Dicht (3,10–3,15 g/cm³, typesch) suergt fir eng héich spezifesch Steifheet, ideal fir Héichgeschwindegkeets-Wafer-Transferroboter. Mat enger thermescher Leetfäegkeet vun 120–150 W/m·K (typesch) an engem thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typesch) leet dësen Endeffektor effektiv d'Hëtzt of a behält seng dimensional Stabilitéit bei héijen Temperaturen (bis zu 1600–1700°C, ouni Belaaschtung). Déi schwaarz/gro Faarf an déi null Waasserabsorptioun garantéieren d'Kompatibilitéit mat proppere Raim.
Spezifikatiounen(baséiert op dem geliwwerte SiC S1111 Testbericht & typesche Wäerter):
| Immobilie | Wäert |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% fräit Si) |
| Faarf | Schwaarz/Gro |
| Dicht | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Waasserabsorptioun | 0% |
| Biegfestigkeit | 449 MPa (Duerchschnëtt) |
| Bruchstähigkeit | 3,12 MPa·m¹/² (Duerchschnëtt) |
| Elastizitéitsmodul | 457 GPa |
| Vickers-Härkeet | 25–28 GPa |
| Wärmeleitfäegkeet (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximal Benotzungstemperatur (ouni Belaaschtung) | 1600–1700°C |
Uwendungen:
● Ëmgang mat héichtemperaturege Waferen (Post-Aneal, RTP, Epitaxie)
● Plasmaätzkammeren, déi eng héich Erosiounsbeständegkeet erfuerderen
● Héichgeschwindegkeets-Transferroboter (liicht Gewiicht, héich Steifheet)
Produktioun:
SiC-Pulver-Sinteren → Präzisiouns-CNC-Schleifen vum Aarmprofil a Montagemerkmale → Uewerflächenläppen → Ultraschallreinigung. 100% Dimensiounsinspektioun an Helium-Lecketest fir Vakuumapplikatiounen.
Qualitéitskontroll:
● CMM-Inspektioun vun der Längt, der Breet an der Flaachheet
● Biegfestigkeitstest pro Charge (no Testberichtstandard)
● Visuell Inspektioun ënner dem Mikroskop op Uewerflächendefekter
Virdeeler géintiwwer Aluminiumoxid oder Metall:
● 2x méi héije Elastizitéitsmodul (457 vs ~380 GPa fir Aluminiumoxid) – manner Oflenkung
● 3x méi héich Wärmeleitfäegkeet – méi séier Hëtztofleedung
● Hält >1600°C am Verglach zu 800°C vun Aluminiumoxid an der Loft aus
● Méi niddreg Dicht wéi Stol – 40% Gewiichtsreduktioun
Personnalisatioun:
Längten 150–450 mm, Spëtzeformen (Kantegrëff, Bernoulli, flaach), Montageflanschmuster laut OEM-Zeechnung.
*All mechanesch Donnéeën uewen stamen aus dem geliwwerte Testbericht (Charge S1111). Thermesch a Härtewäerter si typesch fir dës SiC-Qualitéit; kontaktéiert eis w.e.g. fir eng chargspezifesch Zertifizéierung.*
