Porös Keramik Vakuumfutter fir Verzerrte Waferbehandlung
De poröse Keramikfutter vu St.Cera ass aus héichreinegem Aluminiumoxid mat enger gläichméisseger oppener Porositéit vun 30–45% a Poregréissten tëscht 10 an 100 μm hiergestallt. Am Géigesaz zu konventionelle gerillte Futteren suergt déi poréis Uewerfläch fir e verdeelte Vakuum iwwer déi ganz Récksäit vum Wafer, wouduerch kromm, dënn oder eenzel Wafer effektiv ouni Randofhiewen oder Broch festgehale ginn. De sanfte Vakuum (justierbar iwwer e Restriktiounsmechanismus) verhënnert och Markéierungen op der Récksäit.
Spezifikatiounen(baséiert op 99,6% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Porositéit | 30–45% |
| Duerchschnëttlech Poregréisst | 10–100 μm (auswielbar) |
| Biegfestigkeit | ≥250 MPa |
| Flaachheet (iwwer 300 mm) | ≤5 μm |
| Uewerflächenfinish | Gelappt (Ra 0,8 μm) |
| Maximalen Vakuumniveau | -80 kPa |
| Betribstemperatur | 400°C (Loft), 600°C (inert) |
| Material | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ oder SiC |
Uwendungen:
Dënn Wafer (≤50 μm) Récksäitschleifen
Verzerrte Wafer-Montage fir Wierfelen
Eenzelstéckopnam vum Band
Ëmgang mat Glaspanelen
Produktioun & Qualitéit:
Keramikpulver gemëscht mat organesche Porenbildungsmëttel → gepresst → gesintert → op déi endgülteg Déckt iwwerlappt. All Spannfutter gëtt op Vakuumuniformitéit (≤5% Ofwäichung) duerchflusst an op Poregréisstverdeelung (SEM) iwwerpréift. Flaachheet mat engem Laserinterferometer gemooss.
Virdeeler géintiwwer Grooved Chucks:
Keng Waferkantmarkéierung oder Die-Verschiebung
Hält verzerrte Waferen (bis zu 500 μm Béi)
Eliminéiert Verstoppung vum Vakuumlach
Selbstnivelléerende Ënnerstëtzung fir dënn Ënnerlagen
Personnalisatioun:
Ronn oder rechteckeg Formen, Gréisst bis zu 600 mm. Mir kënnen Kantdichtungsréng oder Zonenvakuumtreppen uwenden. Metallversiounen fir héich Steifheetsufuerderungen verfügbar.
Frot eng Prouf fir Äre Wafergréisst- a Verformungstest un.
