Keramik-Ënnerstëtzungsstift fir Halbleiterprozessarmaturen
Keramik-Stützstifte (och bekannt als Liftstifte oder Supportstifte) vu St.Cera ginn a Hallefleiterprozesskammeren benotzt fir Waferen oder Substrate beim Ëmgang, Heizung oder Ofkillung ze hiewen. Dës Stifte gi mat 99,8% Aluminiumoxid oder Siliziumnitrid hiergestallt a bidden eng héich Drockfestigkeit, thermesch Stabilitéit a chemesch Resistenz. Den halbkugelfërmegen oder flaache Spëtzdesign verhënnert Kratzer op de Waferen.
Spezifikatiounen(Aluminiumoxid 99,8%):
| Immobilie | Wäert |
| Material | 99,8% Al₂O₃ oder Si₃N₄ |
| Längt | 10 – 100 mm |
| Duerchmiesser | 1 – 10 mm |
| Form vun der Spëtzt | Flaach, hallefkugelfërmeg, spitz |
| Drockfestigkeit (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maximal Betribstemperatur (Al₂O₃) | 1600°C |
| Uewerflächenfinish | Gelappt (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleranz op Duerchmiesser | ±0,01 mm |
Uwendungen:
Hieftstifte a CVD/PVD-Kameren
Stützstifte fir Baken op der waarmer Plack
Ënnerstëtzungsstrukture fir Sondenkaarten
Ënnerstëtzer fir d'Booter vum Quarzuewen
Produktioun:
Präzisiounszenterlos Schleifen vun der OD → Diamantschleifen vum Spëtzeprofil → Ultraschallreinigung → 100% Dimensiounsinspektioun.
Qualitéitskontroll:
CMM fir Längt/Duerchmiesser, optesche Vergläicher fir de Spëtzeradius, Belaaschtungstest fir d'Drockfestigkeit ze verifizéieren (zoufälleg Prouf pro Charge). Keng ferromagnetesch Kontaminatioun (mat Magnet verifizéiert).
Virdeeler géintiwwer Metall- oder Quarzstiften:
5x méi laang Liewensdauer wéi Edelstahl
Keng Metallkontaminatioun an der Prozesskammer
Méi héich Temperaturfäegkeet wéi Quarz (1600°C vs 1100°C)
Antihaftbeschichtete Uewerfläch (reduzéiert Partikelhaftung)
Personnalisatioun:
Méifach Spëtzeprofiler, Gewënnbasis oder konischer Well.
Mir liwweren och SiC-Pins fir extrem Plasma-Ëmfeld.
