-
Aluminiumoxid Héichpräzisiouns Keramikring Keramikdeeler
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Equipment Keramik Chucks
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Siliziumkarbid (SiC) Keramik-Endeffektor – Héich Steifheet fir d'Handhabung vu Waferen bei héijen Temperaturen
Den SiC Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (SiC-Gehalt 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt andeems en de S1111 Batchmaterial benotzt. En bitt aussergewéinlech mechanesch Eegeschaften: Biegefestigkeit 449 MPa (gemooss), Elastizitéitsmodul 457 GPa (gemooss) a Vickers-Härte 25–28 GPa (typesch). Déi niddreg Dicht (3,10–3,15 g/cm³, typesch) suergt fir eng héich spezifesch Steifheet, ideal fir Héichgeschwindegkeets-Wafer-Transferroboter. Mat enger thermescher Leetfäegkeet vun 120–150 W/m·K (typesch) an engem thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typesch) leet dësen Endeffektor effektiv d'Hëtzt of a behält seng dimensional Stabilitéit bei héijen Temperaturen (bis zu 1600–1700°C, ouni Belaaschtung). Déi schwaarz/gro Faarf an déi null Waasserabsorptioun garantéieren d'Kompatibilitéit mat proppere Raim.
-
Vakuumfutter op Basis vu Siliziumkarbid (SiC) fir Héichtemperatur- a Plasmaëmfeld
De SiC-baséierte Keramikfutter vu St.Cera gëtt aus héichreinem Siliziumcarbid (Charge S1111, SiC 99,72%, fräit Si 0,05%) hiergestallt. E liwwert eng gemoossen Biegefestigkeit vu 449 MPa, eng Bruchsehegkeet vun 3,12 MPa·m¹/² an en Elastizitéitsmodul vu 457 GPa. Déi typesch Wärmeleitfäegkeet vum Material (120–150 W/m·K) an déi niddreg thermesch Expansioun (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) erméiglechen eng séier Temperaturrampfung a minimal Wafer-Verzerrung während dem thermesche Zyklus. De Futter kann als poréise Vakuumfutter (gläichméissege Gasstroum) oder als gerillte Standardfutter konfiguréiert ginn. Mat enger maximaler Notzungstemperatur vun 1600–1700°C (ouni Belaaschtung) an aussergewéinlecher Plasmaerosiounsbeständegkeet ass dëse Futter ideal fir Héichtemperatur-Waferveraarbechtung (Glühen, RTP) an aggressiv Ätzkammeren, wou Aluminiumoxidfutter ofbauen.
-
Ersatzdeeler fir Hallefleiterausrüstung Keramikträger
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Metallgestëtzten Aluminiumoxid-Keramik-Schleifring fir héichsteif Läppungsapplikatiounen
De Schleifring aus Metallbaséiertem Aluminiumoxid vu St.Cera kombinéiert eng héichreine Aluminiumoxid (99,8% Al₂O₃) Keramikverschleissschicht mat enger präzisiounsbearbechter Metallträger (typescherweis Aluminium oder Edelstol). Dësen Hybriddesign bitt déi aussergewéinlech Verschleissbeständegkeet an d'chemesch Inertitéit vu Keramik op der Schleiffläch, während d'Metallbasis mechanesch Stäerkt, einfach Montage a Widderstand géint Bréchbroch bäidréit. D'Aluminiumoxidschicht bitt eng Biegefestigkeit vun 361 MPa, eng Vickers-Härkeet vun 16 GPa an eng thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. D'Metallbasis ass mat Montagelächer, Positionéierungsstiften oder magnetesche Eegeschafte fir d'Integratioun a Läppmaschinnen, Planéiteschleifmaschinnen a CMP-Ausrüstung personaliséiert.
-
Keramik Ersatzdeeler fir Halbleiter-Sondestatiounsausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Personnaliséiert Veraarbechtung vun Al2O3 Keramik Wafer Chuck
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Equipment Keramikplack
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
12-Zoll Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir 300 mm Waferveraarbechtung
De 12-Zoll-Vakuumfutter vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir d'Handhabung vu Waferen vun 300 mm hiergestallt. De Futter huet eng fein gerillte Uewerfläch (Rillbreet 0,5–1,0 mm, Steigung 2–3 mm), fir eng gläichméisseg Vakuumverdeelung iwwer den gesamten Duerchmiesser vun 300 mm ze garantéieren. D'Flaachheet gëtt bannent 5 μm erhalen, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun erméiglecht. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit och bei widderhollte Vakuumzyklen.
-
Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor mat integréierte Vakuumkanäl
Den Aluminiumoxid-Vakuum-Endeffektor vu St.Cera integréiert präzis veraarbechte Vakuumkanäl a Sauglächer direkt an de Kierper aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid. Dësen Design eliminéiert extern Vakuumpads a erméiglecht eng direkt Wafer-Opnahm mat enger gläichméisseger Haltkraaft. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit bei widderhollte Vakuumzyklen. D'Flaachheet iwwer d'Padfläch gëtt bannent 10 μm erhalen, wat Waferstress a Broch verhënnert. Vakuumports sinn um hënneschte Montageflansch fir eng einfach Integratioun mat OEM-Roboteräerm placéiert.
-
ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler fir statesch empfindlech Waferbehandlung
D'ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler vu St.Cera gi mat engem speziellen Uewerflächenwiderstand vun 10⁶–10⁹ Ω/sq hiergestallt, deen duerch e propriétaire Dotier- oder Beschichtungsprozess erreecht gëtt. Dës Deeler leeden effektiv statesch Ladung of a verhënneren elektrostatesch Schied un empfindleche Hallefleederwaferen an -komponenten. De Basismaterial behält seng héich Biegefestigkeit (361 MPa), Häert (16 GPa) a dielektresch Festigkeit (15×10⁶ V/m). ESD-sécher Keramikdeeler enthalen Endeffektoren, Liftstiften, Führungsschinnen a speziell Befestigungen fir d'FAB-Automatiséierung.
