Héichreine Aluminiumoxid Keramik Roboterarm fir Waferbehandlung
Den Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinegem Al₂O₃ (Aluminiumoxid) hiergestallt. Hie kombinéiert aussergewéinlech Biegefestigkeit (361 MPa), héich Häert (16 GPa) an eng niddreg Dicht (3,93 g/cm³), wat zu engem liichte awer steife Aarm fir den Transfer vu Hallefleederwafer féiert. Den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vum Material (7,2×10⁻⁶/°C) passt gutt zum Silizium, wouduerch d'thermesch Ofwäichung während der Veraarbechtung miniméiert gëtt.
Spezifikatiounen (baséiert op 99,8% Al₂O₃):
| Immobilie | Wäert |
| Faarf | Elfebeen |
| Dicht | 3,93 g/cm³ |
| Biegfestigkeit | 361 MPa |
| Vickers-Härkeet | 16 GPa |
| Young säi Modul | 380 GPa |
| Wärmeleitfäegkeet | 32 W/m·k |
| Thermesch Expansioun | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektresch Stäerkt | 15×10⁶ V/m |
Uwendungen:
- Vakuum-Wafer-Transferroboter (200mm/300mm)
- Atmosphäresch Behandelungssystemer
- Endeffektoräerm fir FAB-Automatiséierung
Fabrikatiounsprozess:
Isostatescht Pressen → gréng Bearbechtung → Sinteren bei 1600°C → CNC-Präzisiounsschleifen → Ultraschallreinigung → Verpackung a propperem Raum vun der Klass 100. All Aarm gëtt vun der CMM zu 100% op Flaachheet (±0,01 mm) an Uewerflächenrauheet (Ra ≤0,4 μm) iwwerpréift.
Qualitéitskontroll:
St.Cera ass ISO 9001:2015 zertifizéiert. Mir maachen Faarfpenetratiounstester fir Mikrorëss, Dräipunktbéiung fir Biegfestigkeit an Dielektrizitéitstester no ASTM D149.
Virdeeler géintiwwer Metallarmer:
- 50% méi liicht wéi Edelstol
- Keng galvanesch Korrosioun
- Manner Partikelbildung (≤0,05 Partikelen/cm²)
- ESD-sécher Beschichtung verfügbar (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Personnalisatioun:
Längt vun 150mm bis 450mm, Spëtzeformen (Kantegrëff, Bernoulli, Vakuum), a Montageflanschmuster no OEM-Zeechnunge. Prototypen an 2 Wochen.
Fir Groussbestellunge, frot w.e.g. no engem Devis.
