-
ST.CERA Personnaliséiert Hallefleederausrüstung Keramikfutter
De kritesche Prozess am Hallefleederfeld muss a proppere Raim duerchgefouert ginn, besonnesch fir déi Apparater, déi ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum a korrosivem Gas benotzt solle ginn. Keramik kann eng héich Stabilitéit a komplizéierte physikaleschen a chemeschen Ëmfeld behalen.
-
ST.CERA Personnaliséiert Hallefleiterausrüstung Keramikplack
De kritesche Prozess am Hallefleederfeld muss a proppere Raim duerchgefouert ginn, besonnesch fir déi Apparater, déi ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum a korrosivem Gas benotzt solle ginn. Keramik kann eng héich Stabilitéit a komplizéierte physikaleschen a chemeschen Ëmfeld behalen.
-
ST.CERA personaliséierten Halbleiter Keramik Fokusring
De kritesche Prozess am Hallefleederfeld muss a proppere Raim duerchgefouert ginn, besonnesch fir déi Apparater, déi ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum a korrosivem Gas benotzt solle ginn. Keramik kann eng héich Stabilitéit a komplizéierte physikaleschen a chemeschen Ëmfeld behalen.
-
ST.CERA personaliséiert 99,5% Aluminiumoxid Keramik Ladearm
E Keramik-Endeffektor / Handling Arm ass op engem Wafer-Handling-Roboter oder "Endeffektoren" installéiert a gëtt benotzt fir Siliziumwafer an oder aus Kassetten oder Prozesskammeren ze transportéieren.
D'Virdeeler vun der Verwendung vu Keramik sinn d'Reduktioun vun der Ofbiegung wéinst héijer Biegefestigkeit, d'Resistenz géint héich Temperaturen an d'Eliminatioun vu Metallkontaminatioun a Partikelen. -
ST.CERA personaliséierten Aluminiumoxid Keramik Endeffektor
ST.CERA bitt ESD-Beschichtung an ESD-Keramikmaterial Endeffektor. Hiergestallt aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann en eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃ erreechen.
-
ST.CERA personaliséierten Hallefleiter Keramik Fokusring
Si bestinn aus héichreinem Aluminiumoxid-Keramik (iwwer 99,5%), dat duerch kal isostatesch Pressen geformt a bei héijer Temperatur gesintert, duerno präzis veraarbecht a poléiert gëtt, sou datt d'Keramik-Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen, well se vill Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun hunn.
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Präzisiounsaluminiumoxid Keramik Bushing
Si bestinn aus héichreinem Aluminiumoxid-Keramik (iwwer 99,5%), dat duerch kal isostatesch Pressen geformt a bei héijer Temperatur gesintert, duerno präzis veraarbecht a poléiert gëtt, sou datt d'Keramik-Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen, well se vill Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun hunn.
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséierten Aluminiumoxid Keramik Vakuum Enn Effektor
Dëst ass en Endeffektor / Handling Arm vum Keramik-Typ, deen ënner Vakuum benotzt gëtt.
De Keramik-Endeffektor / Handling Arm ass "méi hëtzebeständeg", "manner oflenkend" a "méi liicht" am Gewiicht am Verglach mat de Metall.
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert 99,5% Aluminiumoxid Keramikréier a Keramikstangen
Mat Eegeschafte vun héijer Temperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Abrasiounsbeständegkeet an Isolatioun kann Keramik a ville Aarte vu Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Aluminiumoxid Keramik End Effektor Wafer Handling
ST.CERA bitt ESD-Beschichtung an ESD-Keramikmaterial Endeffektor / Handling Arm mat engem agebauten huel Kanal un. Mir spezialiséieren eis op eng Technik, déi e Vakuum-Loftkanal an engem eenzege Stéck Material ouni d'Benotzung vu Klebstoff bildt.
Et gëtt kee Risiko vu Kontaminatioun, Ausgasung oder Partikelen. Den Vakuum-Endeffektor / Handling Arm vun ST.CERA mat spezieller Beschichtungstechnologie ass elektresch isoléiert. Mir kënnen och ESD-Keramikmaterial ubidden, dat elektresch isoléiert ass ouni Beschichtung.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃. -
Komponenten vun der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Hallefleiter-Ausrüstung
Verhënnert d'Bildung vu Partikelen, déi sech vun de Schrägkanten oder gebéiten Kanten an der Récksäit entstinn, während d'Waferen transportéiert ginn oder a Kontakt mam Endeffektor/Handling Arm sinn.
Fir d'Guiden gouf e mëllt Material benotzt, dat de Wafer net beschiedegt.
Verdënnung ass méiglech mat der agebauter Vakuumkanaltechnologie vun ST.CERA, déi keng Klebstoffer benotzt.
Et ass méiglech, Lächer fir d'Montage ze maachen an d'Längt a Breet vun der Basis z'änneren, wou den Endeffektor / Handling Arm um Roboter montéiert ass.
D'Montage vu Sensoren, Schrauwen a Klammeren ass optional verfügbar.
Entworf fir an der Atmosphär ze benotzen.
-
Personnaliséiert CNC-Bearbeitung vu St.Cera Keramik-Endeffektor
ST.CERA bitt en Vakuum-Keramik-Endeffektor / Handling Arm mat engem agebauten huel Kanal un. Mir spezialiséieren eis op eng Technik, déi e Vakuum-Loftkanal an engem eenzege Stéck Material ouni d'Benotzung vu Klebstoff bildt.
Et gëtt kee Risiko vu Kontaminatioun, Ausgasung oder Partikelen. D'Vakuum-Endeffektoren / Handling Arms vun ST.CERA mat agebautem Kanal si robust a kënne bei héijen Temperaturen agesat ginn. Ausserdeem kënnen eis Produktiounskäschte reduzéiert ginn, andeems onnéideg Montage eliminéiert gëtt.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
